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炭化挂素ヒーター
使用温度:400~1400℃
炭素挂素を主成分とした非金属ヒーターです。
- 炉内を金属コンタミのないクリーンな環境に保ちます。
- 取り扱いが容易でメンテナンスも簡単です。
- 様々な特殊雰囲気に対応します。
コートタイプ
炉内が水蒸気・還元など過酷な雰囲気で急激な劣化を防ぎます。 CVD、アルミナ、ガラスなどのコート材質があります。
均熱タイプ
発熱部中央に非発熱帯をもち、幅方向で均一な加熱が可能になります。 炉幅の広い連続炉に効果的です。
保護管付タイプ
ヒーターの外側に保護管を取り付けることにより、焼成物から発生する酸・アルカリ等のアタックを防ぎます。材質はアルミナ・ムライト・SiCなどがあります。
金属ヒーター
使用温度:~1000℃
断熱材と発熱体を一体化したヒーターユニットです。
- 焼成炉の小型化および高効率化を実現します。
- 面全体での加熱により、均一な加熱が可能です。
二挂化モリブデンヒーター
使用温度:1000~1800℃
二挂化モリブデンヒーターを主成分とした高温ヒーターです。
高純度タイプ
ヒーター基材に高純度な原料を使用しており、発熱体表面に形成されるガラス保護幕の耐久性が向上しました。
クリープ特性、機械的強度にも優れた効果を発揮します。
カーボンヒーター
使用温度:1500~3000℃
- 最高3000℃までの高温域での使用が可能です。
- 高温ハロゲン化処理により、ppmオーダーにまで高純度対応します。