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昇降式バッチ炉
高気密
多重シール構造により少量の投入ガス量で超低酸素濃度を実現。
置換時間の短縮
独自のダブル給気方式（直接給気＋浸透給気）と真空減圧によりチャンバー内の置換時間が短縮。
均一な温度分布
円筒型炉内に円形配列されたセッターの外側と内側にヒーターを配置し、製品を3方向から同時過熱します。
省スペース
昇降テーブルを連動させ複数の炉を自動制御することにより、生産効率の向上と省スペース化を実現します。
| 最高温度 | 1400℃ |
|---|---|
| 雰囲気 | 大気、特殊雰囲気ガス |
| 熱源 | 電気 |
■有効寸法
| Model | サイズ | |
|---|---|---|
| A-AF-500 | 4piles | φ500×400H(mm) |
| A-AF-850 | 8piles | φ750×400H(mm) |
