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使用温度	R.T.～240℃
温度精度	±3℃
雰囲気	Air、N₂（Option）
クリーン度	Class 1000
フィルム幅	500～1700mm
搬送張力	無張力（加熱炉内）

用途

ITOフィルム結晶化アニール工程
各種機能膜フィルムのアニール工程
光学フィルムの単体アニール処理工程（ PI、PEN、PET、PMMA等）

均一加熱

幅広フィルムに対応した遠赤外線ヒーターのゾーン配列により、高精度な温度分布を実現しました。

光学フィルム専用ロールtoロール搬送方式

加熱搬送時の負荷を低減し、製品に歪みと搬送キズを残さない搬送方式を提案します。

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