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大画面高精細ディスプレイ用ガラス基板の加熱乾燥にクリーンな遠赤外線加熱技術、高精度な温度制御、効率の良い給排気システムを採用し、ディスプレイ加熱システムの高スループット・省スペース・省エネルギー化を実現しました。
ラインナップ
PDP/FED加熱システム
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豊富な納入実績をもとに、各プロセスに合わせた最適なシステムをご提案致します。近年の基板の大型化、生産量の増加に伴う装置の大型化に対しても効率的な加熱・冷却方式を確立することにより省スペース・省エネルギーを実現しております。
LCD加熱システム
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独自の開発・設計により、多くの特長を持ち合わせております。性能、操作性、メンテナンス性に優れ、省エネルギー・省スペースを実現したシステムです。
EL加熱システム
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有機EL、無機ELなどの次世代ディスプレイ用の加熱システムです。 新規プロセスの要求に対応した、クリーンで高精度な最適加熱処理を実現いたします。 高真空加熱やN2雰囲気加熱への対応も可能です。